OběVakuové čerpadlo a kompresorjsou zařízení pro zpracování plynu, ale jejich pracovní principy a rozsah aplikace se liší.
Hlavní funkcí vakuového čerpadla je odstranění plynu z reakční komory, aby se snížil tlak v nádobě, aby se dosáhlo předem stanoveného stupně vakua. Plyn je extrahován z prostoru pomocí mechanismu sacího a výfukového mechanismu za vzniku vakuového stavu. Vakuová čerpadla se obvykle používají v laboratořích, výrobních a výrobních polích. V oplatkách, leptacích zařízeních, depozičním vybavení, litografickém vybavení EUV, implantačním zařízením, detekci a charakterizaci atd. Všechny musí být vysávány.
Funkcí kompresoru je vdechnout plyn a komprimovat jej, zvýšit tlak plynu, stlačit plyn do menšího objemu a zvýšit hustotu a tlak plynu. Jeho pracovním principem je stlačit plyn výfukovým ventilem a poté stlačený plyn vložit do plynové nádrže nebo jiného zařízení. Kompresory se obvykle používají při zpracování a výrobních polích. Plyn CDA, o kterém často mluvíme, je poskytován kompresorem. CDA se používá k ovládání různých automatizačních zařízení a ventilů. Pro výrobu polovodičů musí být CDA velmi čistá a suchá. Výstup vzduchu kompresorem musí projít sofistikovaným filtračním systémem, aby odstranil olej, vlhkost a další částice, aby se zajistilo, že nedochází k kontaminaci oplatky.
Jaké jsou kategorieVakuové čerpadlo a kompresor?
V polovodičovém vybavení se běžně používají suchá čerpadla a molekulární čerpadla. Suché čerpadlo odkazuje na vakuové čerpadlo, které nepoužívá žádnou kapalinu jako těsnicí nebo chladicí médium a vyhýbá se problému kontaminace olejové páry. Obecně se používá pro hrubou vakuovou extrakci polovodičového vybavení. Molekulární čerpadla mohou dosáhnout extrémně vysokých hladin vakua. Suchá čerpadla a molekulární čerpadla se často používají v kombinaci v polovodičovém zařízení, aby vyhovovaly potřebám různých hladin vakua.
Kompresory lze rozdělit na píst, šroub, odstředivé, kompresory vzduchu otočného lopatky atd.
Vzhledem k různým návrhům a pracovním principům vakuového čerpadla a kompresoru nemohou vakuová čerpadla obvykle kompresory nahradit. Ačkoli vakuová čerpadla mohou snížit tlak a hustotu plynů, nemohou stlačit plyny do menších objemu a vyšší tlak. Kromě toho jsou vzhledem k omezenému výkonu a pracovním charakteristikám vakuových čerpadel nejlépe vhodné pro manipulaci s plyny s nízkou hustotou a nízkotlaké prostředí.
Pokud tedy musí být plyn stlačen do menšího objemu a vyššího tlaku, měl by být použit kompresor. Naopak, pokud je třeba extrahovat plyn a vytvoří se vakuový stav, mělo by se použít vakuové čerpadlo.
Ačkoli obojíVakuové čerpadlo a kompresorjsou zařízení používaná ke zpracování plynu, existují velké rozdíly v návrhu a pracovním principu. Ačkoli vakuové čerpadlo může snížit tlak a hustotu plynu, nemůže nahradit kompresor, zejména pokud je třeba plyn stlačit do menšího objemu a vyššího tlaku.
